真空等离子处理大部分材料的时候，温度其实是不高的，不过也有部分情况，比如真空等离子清洗机用来去胶渣，或者处理难以解决的石墨材料，温度就会变得很高。

去胶渣需要用中频电源，功率大，能量猛，真空腔里面的离子不断轰击电极板，真空腔里面的温度会直接上升。这种时候需要给真空腔里面加水冷。

另外像石墨这种类型的材料，处理起来比较艰难，为了达到理想的处理效果，处理一次甚至要达到30分钟以上，等离子清洗机由于长时间的工作，里面的温度也会变得很高，这种情况下也需要加水冷。

等离子清洗机真空腔里面的温度过度会引发很多的问题，真空腔里面如果不加水冷温度会高到几百度，不仅损坏处理的材料，会使处理的材料变形变色，而且对机器也有不良的影响。如果不带隔热手套，手就会被烫伤。那么，等离子清洗机具体是怎么解决高温的问题呢？首先需要了解一下等离子清洗机的整个工作过程。

真空等离子清洗机整个清洗的过程是这样的，首先把需要清洗的材料放置在真空腔里面，关上真空腔体门，抽真空到20~100pa，通入反应气体，如氩气或者氮气等，电源放电把这些气体分子激发打碎变成等离子，等离子受到电源激发的作用高速运转，快速的轰击材料表面。材料处理完成后，通入压缩空气或者氮 气，破真空，把材料取出来进行下一道工艺

如果等离子清洗机用的是射频电源而且处理的时候不长，大部分材料都在5分钟左右，甚至更短，那么就不会出现温度过高的问题，但是刻蚀去胶渣，这种工艺要有的中频电源，就不一样，中频电源频率40KHZ，比13.56MHZ的射频电源频率慢，电源脉冲的频率慢就意味着能量猛，会导致真空腔体内的温度升高。另外还有就是处理的时间很长，有些材料一次处理就要半小时以上，哪怕用的是射频电源，也要加水冷。

那么温度过高的问题具体怎么解决呢？这里就来给大家一起水冷在等离子清洗机上面具体有哪些运用

真空腔体和电极板的冷却

真空腔体和电极板是主要需要降温的部件，这些部件上面都会安装温度传感器，时时监控真空腔里面的温度，如果温度过高，就会立即报警停机。

真空等离子清洗机的反应腔室本体一般都是铝或不锈钢的材质，电极板基本上采用铝合金，这两部分在等离子体处理产品的时候吸收了大量的热，不加任何配套设施的情况下，就会以传导的方式和热射线的形式散发给周围温度较低的物体，例如机台紧固件、外壳和低温空气中。

改善措施：给电极和反应腔室增加冷却系统，例如电极采取蛇形管贴附或者中通冰水的方式，可以大大改善散热效果。

等离子电源是整台机器的核心部件，小型的机器功率小，热量也比较低，但是大型功率高的电源就需要进行降温处理。平时应用场景中，大部分的电源是不用降温的，如果需要降温一般使用风冷，小部分特别的机器需要用到水冷的办法进行降温。

真空泵有油泵和干泵，油泵有油可以进行冷却，干泵在使用的时候，机器结构摩擦会产生很高的温度，如果不进行冷却就会导致干泵损坏。干泵降温通常使用水冷却，在真空泵设计的时候，就会设计好。等离子清洗机的真空泵大多从真空泵厂家采购，所以如果真空泵散热出了问题肯定第一时间找到真空泵厂家

等离子清洗机的冷却水来源通常有两个，分别为冷水机供给和用户端循环水供给。关于大型等离子清洗机主张配单独的冷水机，以便保护。

等离子清洗机的冷却水的温度一般控制在20-50℃，依据实践需要进行调整;压力一般在0.3-0.5MPa;流量一般在2～7 SLM。不过在实际的运行工作中，每个机器的数据会有所不同，这个在机器设计的时候，都会设计好相应的参数

现在等离子清洗机真空腔上面都会安装温度传感器，对机器的温度实时监测，温度异常会自动报警，机器启动后，冷却系统自动运行。