电压220V（±10V） 电源频率电源频率 处理产品任何形状的产品 真空仓尺寸真空仓尺寸 型号GD系列

我公司销售的真空等离子清洗机和等离子表面处理设备(plasma)主要用于包装糊盒、糊箱、塑料、薄膜、金属、玻璃表面改性处理，客户广泛应用于包装、塑料、汽车工业、电子产品、、玻璃精密清洁等多个领域。等离子清洗机和等离子表面处理设备(plasma)工艺简单、耗能低、**、清洁环保，为未来*成长的电子信息产业起到关键技术作用。
小型等离子清洗机5升（L）也叫小型等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。上海轩仪仪器设备有限公司提供的等离子清洗机，可以对塑料、金属、玻璃等复合材料等离子活化清洗，对电子元件、PCB清洗、去静电、IC等表面清洁、增强绑定性都有非常好的效果。
小型等离子清洗机泛指容积在5升（含）以下，射频电源功率在300瓦以下的等离子清洗机。根据不同的清洗和处理要求，又以射频频率划分为40KHz,13.56MHz和2.GHz三种。相比较而言，上海轩仪仪器设备有限公司提供的等离子清洗机，工作在40KHz射频频率时，其匹配简单，所提供的射频电源**，故常规的材料处理和清洗应用中较为普及。
通常，微流体装置需要亲水性的表面以便于分析物可以持续平缓的流经微通道而到达探测和处理部件。这种流动可通过各种抽吸、电渗透、热量、机械等方法来实现。与培养基（见下面）一样，微射流器件由疏水性的聚合材料（丙烯酸、聚苯乙烯、聚二甲基硅氧烷（PDMS）制成。由这些材料的疏水性导致的一个主要问题就是在微通道中捕集的气泡抑制了液体的流动。即便通道用酒精和缓冲液处理过，仍存在气泡问题。用等离子体处理可以氧化微通道的表面，使它们变成亲水性，从而防止气泡的形成。上海轩仪仪器设备有限公司提供的等离子清洗机可以有效地促进带电表面的电泳或电渗透流动。
上海轩仪仪器设备有限公司提供的等离子清洗机的真空泵采用德国进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，*水冷。
上海轩仪仪器为您提供：1、的售前服务：我们*所有产品均为我司*生产，根据客户的需求，**的产品及配置，提供相关的技术咨询，报出合理的价格，同客户洽谈、协商，并签定合同。2、完善的服务：产品保修一年，在保修期内，除人为损坏之外所产生的零件成本费、运费均由我们上海轩仪仪器负责，跟踪服务。常年供应各种零配件和耗材。用户在使用过程中，如遇到的各种操作及技术故障问题，可随时通过电话、传真或E-mail等形式及时与我公司**联系，我们的工作人员将以热情、周到的服务给您解！3、*打样服务：可提供*打样服务，欢迎前来试样！

SPV-50L系列真空等离子清洗机
*工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
*过程控制： MCU自动与手动方式
清洗时间： 1-99999秒钟可调

一、金属表面去油及清洁——SPV-50L系列真空等离子清洗机

      金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的运用SPV-50L系列真空等离子清洗机处理会产生以下效果： 

 －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发 

－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出 

－紫外辐射破坏污染物 

   因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。 

金属氧化物会与处理气体发生化学反应（下图）

这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。 

通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

二、等离子刻蚀——SPV-50L系列真空等离子清洗机 

在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。 

等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。SPA2200系列大气低温等离子清洗机是刻蚀过程的一大法宝。 

三、刻蚀和灰化——SPV-50L系列真空等离子清洗机

PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。（下图） 

等离子结构可以使表面化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。 

PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。

处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁——SPV-50L系列真空等离子清洗机

塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。 

等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF₄等 。

五、等离子涂镀——SPV-50L系列真空等离子清洗机

在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况 

小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点， 与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洁小型机具有以下优点: 

1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。 

2、不会对人员的身体造成任何伤害。 

3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。 

小型等离子设备广泛应用于等离子清洗和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。 

其具体应用包括： 

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化 

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。 

2、金属去油及清洁 

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 

       焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。 

        键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。