微纳金属探针3D打印技术应用:AFM探针

1. 一种基于AFM的微/纳观力-电耦合特性測量装置其特征在于,包括压电驱动器(5)、 AFM探头(6)、导电第二探针(8)、激光发射器(9)、AFM原子力显微镜(10)、检测器(11)和数据 处理中心(12);柔弹性导电试樣⑺的两端通过夹具(2)安装在固定架(1);所述固定架(1) 上安装可移动的压电驱动器(5)且所述压电驱动器⑸位于柔弹性导电试样⑺底面;所述 固定架⑴上安装AFM探头(6)、导电第二探针⑻和所述AFM原子力显微镜(10),所述AFM探 头⑹可与柔弹性导电试样⑺表面接触所述导电第二探针⑻可与柔弹性導电试样⑺表 面接触;所述AFM原子力显微镜(10)内置所述激光发射器(9)和检测器(11),所述激光发射 器(9)用于发射信号所述检测器(11)用于接受所述激光發射器(9)发射的反射的信号; 所述数据处理中心(12)与AFM探头(6)、激光发射器(9)、检测器(11)和导电第二探针 ⑻连接。

2. 根据权利要求1所述的基于AFM的微/纳觀力-电耦合特性测量装置其特征在于,所 述数据处理中心(12)包括对数放大器(14)和偏压器(13);所述对数放大器(14)与检测器 (11) 连接;所述偏压器(13) —端与所述AFM探头(6)连接所述偏压器(13)另一端与导电第 二探针⑻连接。

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摘要:随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量徝的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微納几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望
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新手上路, 积分 12, 距离下一级还需 38 积汾

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