研磨液吧
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想知道碳化硅晶圆抛光工艺流程是怎样的吗？吉致电子带您了解只看楼主收藏回复碳化硅衬底抛光包括粗抛和精抛两道工艺流程。在碳化硅衬底粗抛光过程中使用的是紫色高锰酸钾抛光液。高锰酸钾与碳化硅的表面直接接触发生氧化反应，从而可将碳化硅表面氧化。在碳化硅衬底精抛光过程中，可用硅溶胶抛光液。硅溶胶抛光液又叫氧化硅抛光液，一种通过离子交换法和水解法制备不同粒径的稳定硅溶胶，经钝化添加化学助剂以及特殊工艺配制的二氧化硅抛光浆料。有关碳化硅衬底的研磨抛光方案可以看下无锡吉致电子官网。下载贴吧APP看高清直播、视频！}