Keywords：AFM；tip；mechanicalscratching；micro／nano EEACC：0180 利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构 闫永达，孙 涛董 申 (哈尔滨工业大学机电学院，哈尔滨150001) 摘 究了探针机械刻划机理分析了工作台的定位精度，AFM的工莋模式探针形状等因素的影响．以复杂字体“哈工大”为例说 明了微纳米结构轮廓坐标的获得，并加工了实例．同时还给出了齿轮形状各种复杂二维结构的加工实例．结果表明采用 AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域． 关键词：AFM；探针；机械刻划；微纳米加工 中图分类号：TI诗01．1 文献标识码：A 随着纳米技术的飞速发展，传统的制造业包括 探针显微术的加工方法中采用AFM探针的机械 大规模集成电路的制作，各种军用民用的微传感器 刻划技术由于其简单可靠，可以在多种材料上如聚 微