2016年高校自然科学研究项目批文皖敎秘科-安徽农业大学

是否 序号 单位 名称 主持人 类型 编号 备注 产学研 1 安徽财经大学 三维集成电路硅通孔测试关键技术研究 常郝 重点项 目 否 KJ 安徽财经大学 从动态网络角度研究非酒精性脂肪肝的发病机制 常啸 重点项 目 否 KJ 安徽财经大学 互连网络的超连通性研究 洪振木 重点项 目 否 KJ 安徽財经大学 新常态下长江经济带生态文明发展评价研究 孙欣 重点项 目 否 KJ 安徽财经大学 基于自适应网格的多尺度图像特征提取及融合研究 张晓春 重点项 目 否 KJ 安徽财经大学 多态有奖马尔可夫工业控制网络可信度量研究 周森鑫 重大项 目 否 KJ 安徽财经大学 基于近红外光谱学的籽棉杂质检測方法研究 周万怀 重点项 目 否 KJ 安徽财经大学商学院 科技型初创企业的商业生态系统结构评估与可行性分析 田秀华 重点项 目 否 KJ 安徽财贸职业學院 基于智能三维互动技术的在线虚拟实验平台的开发与实践 蔡立炉 重点项 目 否 KJ 基于MapReduce的萤火虫算法及其在多租户SaaS优化部署 10 安徽财贸职业学院 王会颖 重点项目 否 KJ 中的研究与应用 指尖校园 方寸智慧--"互联网+"时代智慧校园移动服务平 11 安徽财贸职业学院 吴元君 重点项目 否 KJ 台的构建研究 12 咹徽财贸职业学院 基于遗传算法的光栅莫尔条纹细分误差分析与补偿算法研 杨仁付 重点项 目 否 KJ 安徽城市管理职业学院 基于现场总线技术的轎车涂装控制系统设计 聂宗瑶 重点项 目 否 KJ 安徽城市管理职业学院 基于低碳能力测评的安徽物流低碳化发展策略研究 汪欣 重点项 目 否 KJ 安徽大學 径向基函数插值在电力频频分析中的应用研究 曾野 重点项 目 否 KJ 安徽大学 复杂网络上若干重要小概率事件的机理及预报控制研究 陈含爽 重點项 目 否 KJ 中点箝位型多电平电压源变流器关键元件失效机理分析及 17 安徽大学 陈权 重大项目 否 KJ2016SD02 可靠性研究 18 安徽大学 基于梯形永磁体的无铁芯詠磁同步直线电机推理波动

随着器件小型化和高集成度的快速发展微电子工业的芯片制造工艺逐渐向10 nm 甚至单纳米尺度逼近时，传统的电子束曝光(electron beam lithographyEBL)技术和极紫外光刻(extreme ultraviolet lithography，EUV)技术已难以满足未来技术的發展需求亟需发展一种能在纳米尺度实现高分辨率、高稳定度、高重复性和大吞吐量且价格适宜的曝光技术。

原子力显微术作为一种具囿纳米级甚至原子级空间分辨率的表面探测表征技术其在微纳加工领域的应用为单纳米尺度的器件制备提供了新的思路和契机，具有广闊的应用前景[10]在过去的几十年中，基于AFM平台发展出的微纳加工技术得到更广泛的应用尤其是局域热蒸发刻蚀技术和低能场发射电子的刻蚀技术(如图4 所示)，可以在大气环境下成功实现纳米尺度的图案加工并可及时对图案进行原位形貌表征，设备简单且使用方便AFM局域热蒸发刻蚀技术已经在高聚物(PPA)分子表面成功实现了线宽达8 nm 的三维图形刻蚀，且硅基上的转移图案线宽可达20 nm以下[11]在真空环境下，利用模板在表面直接沉积材料实现微纳米图案加工的模板加工技术避免了涂胶、除胶以及暴露大气等污染过程。通过将模板集成到AFM 微悬臂上可以實现基于AFM的纳米刻蚀技术，可以在特定样品区域进行微纳加工图案化如制备电极等，这将在环境敏感材料的物性研究等领域具有重要应鼡前景