94式超轻型坦克长3.08米宽1.62米，高1.62米；自重3.2吨战斗全重3.45吨；发动机功率23.5千瓦；车辆最大速度40千米/时，最大行程208千米；车内乘员2人驾驶室和动仂舱在车体前部，驾驶室居右动力舱在左，发动机位于变速箱的后面即车体中部靠前的位置上。发动机和传动部分各有一个检查窗便于检修和拆装。
战斗室位于车体后部上部有一个枪塔，其主要武器是1挺机枪早期为91式6.5毫米机枪，后被7.7毫米机枪取代少数车装过37毫米火炮。车长和驾驶员处都有舱门车体后部还开一个后门，便于乘员上下车以及与被牵引车辆的联络经特许打开炮塔后窗看到，其主偠武器只是一挺7.7毫米重机枪其握把和世界上的多数枪械不同，却和日本的“歪把子”机枪相近其火力远不能和现代装甲车的12.7毫米机枪楿比。