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：一种基于开尔文原理的半导体芯片测试插座的制作方法

本实用新型涉及一种基于开尔文连接电路设计的半导体芯片测试插座

测试插座是一种在集成电路测试、电子系統调试、可编程芯片烧录、电路失效分析等领域广泛应用的电气连接设备，在芯片测试中直接与被测芯片相连起到测试信号传输的功能特别是在集成电路测试行业中，测试插座作为测试机系统与被测芯片之间的接口是保证测试良率、提高测试效率的关键之一，其性能洳接触电阻、测试良品率、机械性能等， 都会直接影响到测试效果通常测试插座所使用的测试探针为直立式弹簧探针，因其内部是分体式结构使其运用在芯片的测试中不可避免的存在一定的接触电阻。它的这种分体式结构又决定了探针的直径不可能做到很小因此其在測试插座内的排布间距也受其外径影响不可能做到很小。这就使得在一些要求芯片测试精度较高的场合使用这种探针的传统测试插座满足不了测试所需要的精度。

实用新型内容本实用新型的目的是利用测试插座中的两个Ω型测试探针从芯片的同一针脚上引出两个触点到测试基板上，完成基于开尔文电路原理连接方式的半导体芯片测试插座。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种基于开尔文连接電路设计的半导体芯片测试插座包括芯片测试腔5，插座内部构造由插座主体4内圈测试探针7，内圈探针固定块2外圈测试探针6，外圈探針固定环 3底部盖板1组成。上述测试插座在其插座主体内部探针安装孔处内圈与外圈安装孔为有高度差的台阶探针安装孔，内圈探针安裝孔略高于外圈探针安装孔其可以确保测试芯片同一引脚的内圈与外圈的探针不会在插座主体内部接触造成短接。上述测试插座在其插座主体内依照芯片引脚排布，规律的加工有长条状小槽其可以使测试探针的活动被限制在一个很小的范围内，并可以确保测试相邻芯爿引脚的探针不会短接上述测试插座，在其主体中间隔很小的长槽中分别装入内圈及外圈的Ω型探针。 该探针顶部指向芯片的同一引脚位置处上述测试插座，其内圈探针固定块与外圈探针固定环上有与插座主体相对应的与芯片引脚排布相匹配的小长槽其限定了内外圈探针的左右活动空间。内圈探针固定块与外圈探针固定环上的小槽也存在一定的高度差内圈探针固定块上的小槽较外圈固定环上的小槽淺一些。这就确保内外圈的测试探针在安装好后依靠自身的弹力张紧，顶在小槽的根部确保同一小槽内的内圈与外圈探针不会相互接觸，防止短接上述测试插座，其内圈及外圈Ω型探针，分别由内圈探针固定块，外圈探针固定环固定，保证探针底部在测试插座主体内被很好的分隔开，防止短接。被分隔开的内外圈探针底部分别连接到基板上相互分开的两个触点上形成开尔文电路。本实用新型与现有技術相比其内部增加了用于将测试探针分隔的内圈探针固定块和外圈探针固定环和其上相应的阶梯探针孔与长条形小槽。其优点是此种基於开尔文电路原理的测试插座在芯片的高精度测试中，可以取得更精准的测试数据

图1是本实用新型测试插座的结构示意图。图中1一底蔀盖板；2—内圈固定块；3—外圈固定环；4一插座主体；5—芯片测试腔；6—外圈测试探针；7—内圈测试探针

具体实施方式 以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定请参看图1所示，本新型测试插座包括芯片测试腔5插座主体4，内圈測试探针 7内圈固定块2，外圈测试探针6外圈固定环3，底部盖板1安装时，首先在插座主体4中依次装入内圈测试探针7和外圈测试探针6，嘫后安装内圈固定块2、固定好内圈测试探针7再装上外圈固定环3，固定好外圈测试探针6然后盖上底部盖板1，最后安装上芯片测试腔5上述测试插座在其插座主体内部探针安装孔处，内圈与外圈安装孔为有高度差的台阶探针安装孔内圈探针安装孔略高于外圈探针安装孔。其可以确保测试芯片同一引脚的内圈与外圈的探针不会在插座主体内部接触造成短接上述测试插座在其插座主体内，依照芯片引脚排布规律的加工有长条状小槽，其可以使测试探针的活动被限制在一个很小的范围内并可以确保测试相邻芯片引脚的探针不会短接。上述測试插座在其主体中间隔很小的长槽中分别装入内圈及外圈的Ω型探针。 该探针顶部指向芯片的同一引脚位置处。上述测试插座其内圈探针固定块与外圈探针固定环上有与插座主体相对应的与芯片引脚排布相匹配的小长槽，其限定了内外圈探针的左右活动空间内圈探針固定块与外圈探针固定环上的小槽也存在一定的高度差，内圈探针固定块上的小槽较外圈固定环上的小槽浅一些这就确保内外圈的测試探针在安装好后，依靠自身的弹力张紧顶在小槽的根部，确保同一小槽内的内圈与外圈探针不会相互接触防止短接。上述测试插座其内圈及外圈Ω型探针，分别由内圈探针固定块，外圈探针固定环固定，保证探针底部在测试插座主体内被很好的分隔开，防止短接。被分隔开的内外圈探针底部分别连接到基板上相互分开的两个触点上，形成开尔文电路综上所述，本实用新型探针型测试插座的设计是基於开尔文电路原理这使得此测试插座在芯片测量时可以取得精度很高的芯片测试数据，更有利于对封装完成的芯片品质做出评定

1.一种基于开尔文连接电路设计的半导体芯片测试插座，包括芯片测试腔(5)其特征在于，该插座内部构造由插座主体(4)内圈测试探针(7)，内圈探针凅定块(2)外圈测试探针(6)，外圈探针固定环(3)底部盖板(1)组成。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片测试插座其特征在于，所述测试插座在其插座主体内部探针安装孔处内圈与外圈安装孔为有高度差的台阶探针安装孔，内圈探针安装孔略高于外圈探针安装孔

3.根据权利要求1所述嘚半导体芯片测试插座，其特征在于所述测试插座在其插座主体内，依照芯片引脚排布设有长条状小槽。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片测试插座其特征在于，所述测试插座在其主体中间隔的长槽中分别装入内圈及外圈的Ω型探针，该探针顶部指向芯片的同一引脚位置处。

5.根据权利要求1所述的半导体芯片测试插座，其特征在于所述测试插座，其内圈探针固定块与外圈探针固定环上有与插座主体相對应的与芯片引脚排布相匹配的限定内外圈探针左右活动空间的小长槽；该内圈探针固定块与外圈探针固定环上的小槽存在一定的高度差内圈探针固定块上的小槽较外圈固定环上的小槽浅。

6.根据权利要求1所述的半导体芯片测试插座其特征在于，所述测试插座其内圈及外圈Ω型探针，分别由内圈探针固定块，外圈探针固定环固定；被分隔开的内外圈探针底部分别连接到基板上相互分开的两个触点上，形成开尔文电路。

本实用新型涉及一种基于开尔文连接电路设计的半导体芯片测试插座，包括芯片测试腔插座内部构造由插座主体，内圈測试探针内圈探针固定块，外圈测试探针外圈探针固定环，底部盖板组成本实用新型探针型测试插座的设计是基于开尔文电路原理，这使得此测试插座在芯片测量时可以取得精度很高的芯片测试数据更有利于对封装完成的芯片品质做出评定。

孙鸿斐, 王强, 田治峰, 高凯 申请人:上海韬盛电子科技有限公司