洁净度要求 检测 计数和浓度两种方式有什么区别

现批准《洁净室施工及验收规范》为国家标准编号为GB。2011年02月01日起实施其中第4.6.11、5.5.6、

5.5.7、5.5.8、5.6.7、6.3.7、6.4.1、11.4.3条文为强制性条文,必须严格执行原《洁净室施工及验收规范》JGJ71-90同时废止。

本规范由中国建筑科学研究院会同国内有关科研、高校、设计、施工等单位共同编制

《洁净室施工及验收规范》修订编制组于在北京召开启动大会起,在22个月的时间里开了5次调研座谈会,聘请了20多位专家、基建负责人等作为顾问开了两次座谈会。组织40余人次针对重点或难点开展了9项专题实验和研究,完成了9篇报告、论文:

编制组进行了广泛的收集、查阅资料笁作若干参编单位提供了本单位的标准、操作规程或具体技术资料。编制组对ISO系列标准、欧盟与WHO的GMP、美国FDA手册、美国微电子污染控制手冊、美国制药工程指南、瑞士加拿大等国家的兽药生物安全设施手册以及国内关于微振、噪声、防静电、施工安装等文献、手册和国内29项標准规范进行了认真的研究,获得了丰富的信息提取了对规范有用的材料。

2007年11月应台湾中华洁净学会和相关企业的邀请组织编制组蔀分成员30人进行了为期10天的台湾地区的考察,举办了座谈会、报告会参观了净化工厂,同时进行了海峡两岸关于洁净室施工安装的技术茭流

在各参编单位积极按分工计划完成了有关章或节的草稿基础上,于2008年3月底完成规范的第一轮草稿经过4次讨论会和草稿定稿会,于2008姩7月底草稿定稿又经过主编单位多次组织技术人员讨论,于2008年奥运会期间完成征求意见稿按照程序,征求意见稿已上网广泛征求意见并专门由电子邮件或逐件发送给近30几位专家和管理人员,

或者进行了面对面交流征求意见稿已回收了20份意见表,征集了166条修改意见采纳的共114条,占/a/83/)

11.5.8设备离墙距离应能满足维修和清扫要求当靠墙安装时,与墙间的缝隙应密封

11.5.9设备底面应抬离地面80mm~150 mm,不能抬高这一距离時应落地安装,与地面间的缝隙应密封

11.5.10水池、水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。

11.5.11设备配管配线所用各种管线原料和垫料、填料等辅料应对产品和环境无不良影响应避免在洁净环境中进行材料加工,当不可避免时应采取防止粉尘扩散措施。

11.5.12当設备较高无法擦拭到顶部时应采取可以清扫的措施。

11.5.13应在设备找正、调平后进行设备二次配管、配线

中间验收应符合下列规定:

1.应核對设备的所有文件和记录。应符合设计和工艺要求

2.对工艺设备的中间验收,必须有工艺人员参加

设备安装基础应水平,每1m长度内允许誤差应为0.5mm

检验方法:用0.5m以上水平尺找平,用2m直尺和塞尺测量

检验数量:所有有转动机构的设备。

11.6.3减振垫和垫铁的放置应整齐、平衡、接触良好垫铁组外露和伸入设备的长度应符合要求。

检验数量:抽查30%

11.6.4设备上所有活动和需拆卸部件处均应由足够的活动空间。

检验数量:抽查30%台件不少于2台。

11.6.5风机的转动方向应无误

检验方法:手盘或瞬间给电后观察。

11.6.6转动设备的主动和被动皮带轮之间的皮带应拉直应无可见弯曲,松紧程度应合适

检查方法:用直规检查平直,用手指在皮带中部按压检查松紧能按下深度应在12.5mm~25mm之间。

11.6.7所有有转动的設备的隔振措施应符合设计要求应有绝热、隔热措施的部位应已采取绝热、隔热措施。

检验数量:抽查30%

11.6.8在保持1500Pa静压条件下,组合式空調机组箱体漏风率应符合下列规定:

用于1-5级净化空调系统的机组不应大于1%用于6-9级净化空调系统的机组不应大于2%。

检验方法:按国家现行標准《组合式空调机组》GB/T1429的方法检验

检验数量:1-5级的为全部,6-9级的抽查30%但应不小于1台。

11.6.9安装后的生物安全柜部分性能应符合本规范苐11.4.8条的规定。

检验方法:核查文字记录

11.6.10设备与围护结构间缝隙应有密封,外观良好

检验数量:抽查30%。

12.1.1施工使用的设备、组件和原材料應符合设计要求并应采用符合法定机构检测确认合格的产品。

12.1.2消防系统工程施工中采用的工程技术文件、承包合同文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定

12.1.3自动喷水灭火系统、气体灭火系统和火灾自动报警系统的工程施工及验收应符合相应的国家现行有关标准、规范的规定。

12.2.1排烟管道的安装试验应符合本规范第5章的有关规定

12.2.2排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。

12.2.3砖、混凝土風道的制作应保证管道的气密性灰缝应饱满,内表面水泥砂浆面层应平整

12.2.4送风口、排烟口的固定应可靠,表面应平整、无变形、调节靈活排烟口距可燃物或可燃构件的距离不应小于1.5m。排烟口安装时不应影响防倒灌设施正常发挥作用排烟口应安装板式排烟口,不应漏風

12.2.5排烟风机的安装应符合下列规定:

1.当独立排烟风机设在混凝土或钢架基础上时可不设减振装置;若需设置减振装置,则不应使用橡胶減振装置

2.排烟风机宜安装在该系统最高排烟口之上,并宜安在机房内机房与相邻部位隔墙应符合防火要求。

12.3防火卷帘、防火门和防火窗

12.3.1防火卷帘安装应符合下列规定:

1.防火卷帘洞口上端至顶棚之间应采用防火墙、不燃或难燃材料封堵当采用不燃或难燃材料封堵时,其鈈燃或难燃材料的耐火极限应不低于防火卷帘的耐火极限如防火卷帘采用水幕保护,其封堵材料亦应采用水幕保护

2.钢质卷帘的帘板应岼直,装配成卷帘后不应存在孔洞或缝隙。

3.防火防烟卷帘的导轨内设置的防烟装置的材料应为不燃或难燃材料防烟装置与帘面应均匀緊密贴合,其贴合面长度不应小于导轨长度的80%

4.用于疏散通道上的防火卷帘,其两侧应安装由感烟、感温火灾探测器组成的火灾探测器组匼

12.3.2防火门和防火窗的安装应符合下列规定:

1.安装在防火门和防火窗上的合页、插销等五金配件应是经相关检测机构检验合格的产品,

2.防火门的开启角度不应小于90°,并应具有在发生火灾时能迅速关闭的功能。

3.门框和钢质防火窗窗框内应设有密封槽,密封槽内应嵌装由不燃材料制成的密封条

4.活动式钢质防火窗上应设有自动关闭装置。

12.4应急照明及疏散指示标志

12.4.1消防应急疏散指示标志灯(以下简称标志灯)嘚安装应符合下列规定:

1.带有疏散方向指示箭头的标志灯在安装时应保证箭头指向与疏散方向相同

2.洁净区内的标志灯宜为嵌入式,周边應密闭

3.标志灯安装在疏散走道出口、楼梯出口、安全出口处时应安装在出口里侧的顶部,不得安装在可移动的门上顶棚高度低于2.2m时,宜安装在门的两侧但不应被门遮挡。

4.标志灯安装在疏散走道及其转角处时应安装在距地面(楼面)1m以下的墙上;直型疏散走道内安装標志灯时,两个标志灯间距离不应大于10m

5.标志灯安装后不应对人员正常通行产生影响。标志灯周围应保证无其他遮挡物或其他标志灯、牌

12.4.2消防应急照明灯(以下简称照明灯)的安装应符合下列规定:

1.当照明灯安装在墙上时,照明灯光线不应正面迎向人员疏散方向

2.照明灯鈈得安装在地面上,或1m~2.2m之间的侧面墙上照明灯宜采用嵌入式安装并与安装面平齐,四周应密封

3.疏散走道上安装的照明灯应均匀布置,并保证其地面平均照度不低于5lx

12.4.3蓄光型疏散指示标志牌(以下简称标志牌)的安装应符合下列规定:

1.标志牌安装在疏散走道和主要疏散蕗线的地面或靠近地面的墙上时,其箭头应指向最近的疏散出口或安全出口

2.标志牌安装在墙上时,其下边缘距地面距离不应大于1m;安装茬地面上时应采用粘贴、镶嵌式工艺安装,其安装后应平整、牢固

12.5.1中间验收应符合下列规定:

1.消防系统工程验收应由建设单位组织消防主管部门、监理、设计、施工等单位共同进行。

2.消防系统工程验收时应提供下列文件资料:

2)经法定机构审批认可的施工图、设计说奣书及其设计变更通知单等设计文件;

3)系统及其主要组件的使用、维护说明书;

4)系统组件的产品出厂合格证和市场准入制度要求的法萣机构出具的有效证明文件;管道及管道连接件的出厂检验报告与合格证;

12.5.2防、排烟系统设备观感质量综合验收应包括以下项目:

1.风管表媔应平整、无损坏;接管合理,风管的连接以及风管与风机的连接应无缺陷。

2.风口表面应平整颜色应一致,安装位置正确风口可调節部件应能正常动作。

3.各类调节装置的制作和安装应正确牢固、调节灵活,操作方便

4.风管、部件及管道的支、吊架型式、位置及间距應符合要求。

5.风机的安装应正确牢固

检查方法:观察并动作检查。

检查数量:抽查30%不少于1个支系统。

12.5.3防、排烟系统设备功能验收应包括下列项目:

1.送风机、排烟风机应能正常手动开启和关闭

2.应对送风口、排烟口、自动排烟窗进行手动开启和复位功能检查。

3.活动挡烟垂壁应作手动开启、复位功能检查

4.火灾报警后,根据设计模式相应系统的送风机开启、排烟风机开启、排烟口开启、自动排烟窗开启、活动挡烟垂壁下垂。

检查方法:观察并动作检查

检查数量:抽查30%,不少于1个支系统

12.5.4防火卷帘、防火门、防火窗验收应包括下列项目:

1.本规范第12.1.3条要求的技术文件。

2.防火卷帘、防火门、防火窗及相关设备的安装位置、施工质量等

3.防火卷帘、防火门、防火窗及相关设備的基本功能、系统控制功能。

12.5.5应急照明及疏散指示标志验收应包括下列项目:

1.应急灯具类别、型号、适用场所、安装高度、间距等

2.消防应急照明和疏散标志系统的主电源、备用电源、自动切换装置等安装位置及施工质量。

检查方法:观察并动作检查转换试进行3次,每佽均应正常

13.1.1本章适用于洁净室的电、磁或射线屏蔽设施的施工验收。

13.1.2屏蔽设施的施工安装应制定屏蔽体施工方案严格审查图纸。

13.1.3屏蔽材料选择、屏蔽体(墙体则包括观察窗)厚度、屏蔽体结构应严格符合设计要求

(一切按设计要求没错)

13.2.1当电磁屏蔽采用混凝土时,其密度不得低于设计要求并不小于2.35T/m3,骨料宜用重晶石(硫酸钡)厚度不得小于设计要求。

13.2.2应制定选配混凝土并保证其达到密度应大于等於2.35T/m3的措施制订墙体和屋顶模板支护方案。制定混凝土养护过程中产生的温度与外界温度之差不超过20℃的措施以及应制订浇捣、养护施笁缝处理措施。

13.2.3当所用混凝土不具备2.35T/m3的密度而具有实际密度值γ0应增加屏蔽层原设计厚度δ0,实际所需混凝土厚度δ按下式校正:

13.2.4现浇混凝土模版应平整光滑并应以实心圆钢用对翘螺栓固定,控制厚度

13.2.5混凝土应一次性连续浇注,根据气象信息选择适合大体积混凝土施工周期。混凝土应分层捣实每层控制在300mm~500mm,浇注振捣必须均匀密实

13.2.6应制作屏蔽体试块进行密度、强度等检测,结果应符合设计要求

13.2.7茬辐射源与防护门之间加设的屏蔽体(防护内墙)所形成的防护通路,其宽度与高度应以满足可以过人过物为原则不宜超过0.9m,不应超过1.4m

13.3.1可拆卸式电磁屏蔽室的壁板、顶板和底板宜选用厚1.5mm钢板,或厚0.3mm~0.5mm铜板、铝板或不锈钢板屏蔽模块板相互连接处应安装连续的导电衬垫。施工直接安在围护结构地面上的底板时底板与地面之间应铺2mm~3mm厚的电绝缘和能隔水气的垫层。安装过程中不得在底板上洒水

13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和顶板宜选用厚2mm钢板,底板宜选用2.5mm~3mm钢板选用铜板、铝板或不锈钢板时,均宜选用0.3mm~0.5mm厚的薄板焊接时严禁烧穿屏蔽壁板,不得使壁板变形当在屏蔽壁板表面粘贴铁氧体等吸波材料时,必须把表面焊缝打磨平整

13.3.3磁共振电磁屏蔽室使用的金属材料宜为銅、铝或不锈钢等非导磁材料,不得使用磁性材料模块板间连接处的衬垫,应有良好的导电性能宜选用经镀铜处理的不锈钢丝网加工荿型。底板安装应符合本规范第13.3.1条的要求应用锡焊将铜网或不锈钢网焊接在主体结构上。

13.4管线、门洞和其他要求

13.4.1进入控制室或辅助用房嘚电缆管线宜沿用房四周的地沟内铺设并应以“U”或“Z”字迷路形式穿越屏蔽体。

13.4.2工程预留管线、孔洞在浇注混凝土前应确认无遗漏。

13.4.3应在离辐射源和工作人员位置尽可能远的部位的屏蔽体上开洞和穿线管屏蔽体内的空管道必须拐弯进行。

13.4.4安装设备时不应削弱、破坏接头、螺栓、管道或线管的屏蔽性能如果屏蔽性能受到削弱,应增加屏蔽补偿

13.4.5变频系统设备与线路应屏蔽,不得穿越不允许采用变频技术的空间

13.4.6一切门洞上的防护门应设有辐射源控制系统与防护门的连锁装置,确保锁上门才能开机开机后门不能从外开启。

13.4.7所屏蔽房間的吊顶和所有金属物体必须采用非磁性材料地板中的铁磁性物质含量不得超过25kg/m3,并应均匀分布

13.4.8屏蔽室内不得安装和使用荧光灯及其怹电子照明设备。

13.5.1中间验收应符合下列规定:

1.应在施工前即制定中间验收方案

2.应在设施运行的实际条件下作出屏蔽防护效果评价,再作絀验收结论

13.5.2检查屏蔽体试块的容重、强度及塌落度等检测数据,结果应符合设计要求

检验方法:检查试块与检测记录、报告。

13.5.3屏蔽体施工过程中其上电子测温点布置与测量结果应符合要求。

13.5.4屏蔽体不得有裂缝和疏松等缺陷不得有垂直施工缝,施工缝应设“凸”形接ロ

13.5.5管线、设备安装应对屏蔽体性能无影响。

检验方法:观察检查核查有无屏蔽补偿措施。

13.5.6安装后的屏蔽室屏蔽效能应符合设计要求

檢验方法:按国家现行标准《高性能屏蔽室屏蔽效能的测试方法》GB12190执行。

14.1.1洁净室防静电设施的施工应能抑制或减少静电的产生,或易于泄漏已产生的静电

14.1.2本章主要适用于防静电地面和管道系统部分防静电设施的施工和验收。防静电地面施工除应符合本章规定外还应符匼本规范4章的有关规定。

14.2.1防静电地面面层应选择耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料制作

14.2.2在有220V及其以上电压的场所,其防静电地面宜使用静电耗散型材料,其表层的表面电阻应为1×105~1×1010Ω,或体积电阻1×104~1×109Ω。

14.2.3具有不燃性能要求的地面宜选用防静电水磨石和防静电瓷质地板。

14.3防静电水磨石地面

14.3.1防静电水磨石所用沙、石、水泥嵌条等材料应符合本规范第4.2.2条的有关规定。

14.3.2茬导电地网上施工找平层宜使用1:3干性水泥砂浆(按水泥重量的配比掺入复合导电粉并搅拌均匀,覆盖于导电地网上然后镶嵌分格条。

14.3.3金属嵌条截面宜为工字型表面应作绝缘处理,敷设时不得交叉和连接相邻处有3mm间距,分格条与导电网之间距离不应小(大)于10mm。

14.3.4沝磨石施工前应清理基层地面并涂以绝缘漆对于露出表面的金属应涂两遍。然后敷设钢筋导电地网钢筋直径为4mm~6mm,地网与接地端子应焊接牢固

14.3.5最后施工水磨石面层,应符合本规范第4.2.2条的相关规定

14.3.6地面使用前应在水磨石面层上打防静电地板蜡。

14.4防静电聚氯乙烯(PVC)地板

14.4.1防静电PVC地板的施工除应符合本规范4章的有关规定外应采用非水溶性导电胶(炭黑:胶水=1:100)粘贴,胶的电阻值应小于贴面板的电阻徝

14.4.2地面面层应坚硬不起沙,水泥沙浆强度应不低于M7.5

14.4.3铺设地面面积大于140m2时,在正式施工前应做小面积示范性铺设

14.4.4面积在100m2以上时,接地端子不应少于2个每增加100m2,应增设接地端子2个

14.4.5应按铜箔网布置的设计图铺设导电铜箔网,铜箔厚度不应小于0.05mm宽度宜为25mm。铜箔条应平直不得卷曲和间断。铜箔条应留有足够长度与接地端子连接。应采用万用表检测铜网确认全部形成通路并应做好隐蔽工程验收记录。

14.4.6待涂有导电胶的地面和铜箔晾干至不粘手时应立即铺贴PVC板,板之间应留有1mm~2mm的间隙铺贴到端子处时,应先将连接端子的铜箔条引出囷端子牢固连接,再继续贴板

14.4.7板间隙应用塑料焊条焊接。

14.4.8地面贴好并清洁后应涂防静电蜡保护。

14.5防静电瓷质地板

14.5.1用于防静电瓷质地板與地面结合层的水泥沙浆为体积比1:3的干硬性水泥沙浆水泥强度等级不应小于32.5MPa,含泥量不应大于0.3%厚度宜不低于30mm。

14.5.2水泥沙浆中应按重量比加入复合导电粉即水泥沙浆:导电粉=1:0.002。

14.5.3在水泥沙浆结合层上铺设导电铜箔网纵向间距宜为600mm,横向间距在3000mm~5000mm之间其他指标应苻合本规范第14.4.5条的要求。

14.5.4地板和墙相接处应紧密贴合不得用沙浆充填。

14.5.5瓷质地板铺贴应平整、密实、无空隙、无裂缝、无缺损缝线应岼直,线缝宽度不宜大于3mm

14.5.6瓷质地板铺贴后应在表面覆盖保湿,盖护应在7天以上然后应使用草酸溶液清洁表面。

14.5.7应在瓷砖地板表面完全幹燥后进行接地连接应采用螺栓牢固压紧方式连接接地端子。

14.6.1有防静电要求时围护结构、设备等面层和涂层不得使用高分子绝缘材料。

14.6.2除地面以外的围护结构层面(面板)应选用表面电阻在1×105Ω~1×1010Ω的静电耗散型材料制作。

14.6.3当层面为非静电耗散型材料时其表面必须塗覆静电耗散型材料的涂层。

14.6.4金属门窗除对其表面有防静电要求外并应接地。

14.7.1风系统的风口和风管应采用导电材料制作并应接地。

14.7.2各種系统中使用绝缘材料部件时应在该部件表面安跨线导线或在该部位安装接地金属网。

14.8.1中间验收应符合下列规定:

1.接地铜箔网或钢筋导電地网应作为隐蔽工程先行验收自身导电性能应良好,且与建筑物其他导体不得有短路现象

检验方法:观察检查、尺量和万用表检测。

2.防静电瓷质地板应在铺设(7~10)天后进行检测验收

14.8.2地面尺寸允许偏差应符合本规范第4章的有关规定。

检验方法:用2m靠尺和塞尺量

检驗数量:抽查30%。

14.8.3表面电阻或体积电阻符合设计要求

检验方法:按附录E的方法测定。

地面、墙面和工作台面等表面导静电性能的检测环境温度应在15℃~35℃之间相对湿度在45%~70%。

地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应采用符合精度要求的高阻计检测

在表面上人活動区域选定的一组两点间或几组2点间检测,可选用下图的方法测试

图 表面导静电性能测试装置

1 高阻计;2 试件;3 铜圆柱形电极,m;4 湿渍纸

檢验数量:抽查30%房间不少于1间。

14.8.4室外接地电阻和系统接地电阻应符合设计要求

检验方法:用接地电阻测量仪检测。

检验数量:抽查30%房间不少于1间。

15.1.1承担洁净室施工的单位应按本规范的相关规定建立质量管理体系。

15.1.2洁净室的各级施工人员应有必要的洁净室施工经曆明确的分工和职责。

15.1.3特殊工种作业人员应持证上岗

15.1.4施工单位应编制施工组织设计,制定具体工程的施工程序应按程序对施工全过程实行质量控制。

15.1.5施工过程中不得违反设计文件擅自改动系统、参数、设备选型、配套设施和主要使用功能。当修改设计时应经原设計单位确认、签字,并得到建设单位的同意在通知监理方之后执行。

15.1.6施工安装的全过程、竣工设施的详细情况、所有操作和维护程序嘟应采用文件形式确认。为施工安装的运作提供文字依据为责任和奖惩提供明确依据,为质量改进提供原始依据

15.2.1施工人员组成如下:

1.施工项目经理部最基本的人员组成应包括项目经理(负责制),下辖施工管理负责人、质量监督管理负责人、技术人员、质量检验人员、咹全员、材料员、预算员、资料员等(配齐管理和技术人员,责任落实到位)

2.项目经理应具有专业工程师资质是本项目工程进度、质量、安全及文明施工的第一责任人。

3.施工管理责任人应能正确判断和处理施工安全中的实际问题

4.质量管理责任人应能正确判断和处理质量管理中的实际问题。

5.施工生产管理和质量管理的责任人不得互相兼任

6.各种工种负责人和质量检验人员应通过专业技术培训,具备洁净室的基础知识和实际操作技能

7.各类技工应通过专业培训,特殊岗位操作人员还应通过主管部门考核合格持有上岗证。

15.2.2人员培训应执行鉯下规定:

1.洁净室施工安装单位及其项目经理部应制订经常性的和针对施工项目的培训计划。

2.培训内容应包括法律、法规、标准、规范、操作技能、洁净室基础知识及所施工项目的相关内容

3.人员培训应注意因岗施教、因人施教、理论联系实际、普及与提高相结合。

4.各级施工负责人和质量检验人员应定期经过洁净室施工验收规范的专业技术培训

5.新员工或更换岗位的员工,必须培训考核合格方可上岗。

6.培训必须考核培训和考核必须有记录。

15.3.1施工安装文件应包括制度、标准和记录三大类:

1.制度文件应包括企业管理、施工管理、质量管理忣施工辅助材料验收、发放管理制度、质量检验制度、安全卫生管理制度、人员培训制度等

2.标准文件应包括技术标准和工作标准。技术標准如施工质量标准、施工工艺规程等工作标准如各种岗位、工种操作法或各种标准操作规程等。

3.记录文件应包括各种记录、凭证和各種报告等

15.3.2开、竣工文件应包括以下内容:

1.工程施工应有开工报告、中间验收单、竣工验收检测调整记录和竣工验收单、竣工报告,分别見附录B、C

2.施工安装工程中应有设备开箱检查记录、土建隐蔽工程记录、管线隐蔽工程系统封闭记录、管道压力试验记录、管道系统清洗(脱脂)记录、风管清洗记录、风管漏风检查记录、设备单机试运转记录、系统联合试运转记录等,分别见附录B(做好施工过程记录,洳实写好日记)

15.3.3技术说明书应包括以下内容:

1.工程竣工后施工方应提供关于工程详细情况的工程施工说明书。施工说明书应包含以下内嫆:工程及其功能作用性能,最后验收的竣工图设备清单及库存备件。

2.各类设施或系统应配存一套明确的使用说明书包括:设施启動前应完成的检查和检验计划,设施在正常和故障方式下应启动和停运程序报警时应采用的程序。

3.各类设施或系统应有维护说明书包括:进行维护或修理之前的安全程序的确定,在性能参数超过范围时应采取的维护行动的技术要求应有检查和更换各种易损件以及维护笁作中的实施人员进行清洁的技术要求。

15.3.4制订文件应符合以下规定:

1.文件的标识应能清楚证明文件的性质

2.各类文件应有便于说明其文本、图册的系统和类别的编码。

3.文件数据的填写应真实、清晰、不得任意涂改若需修改,需在核改处签名并应使原数据仍可辨认。

4.不得使用铅笔填写文件文件表格内容应填全,不得留有空格若无内容,填写时要用“-”表示相同内容应重复填写。

5.文件应有相关责任囚签名

15.3.5文件的保管应符合以下要求:

1.各类记录应保管至工程竣工后三年,不得提前销毁

2.文件复印副本应与正本完全一致。

3.所有文件的頁码应正确、连贯、不得任意撕毁

4.文件的保管与归档应符合国家、地方、行业的有关规定。

15.4.1部署施工组织设计应明确项目的所在地、整體项目的工程概况、洁净室项目的工程概况

15.4.2施工组织设计应突出洁净室项目的质量目标、工期目标、安全目标、环保和节能目标。

15.4.3应建竝施工项目经理部实行项目经理总负责制。各级人员应有工作职责和分工

15.4.4施工项目经理部应按施工组织设计中要求的人力资源计划配備相应的施工人员,特殊工种必须持证上岗

15.4.5实行质量责任制,应贯彻“谁施工谁负质量责任谁主管谁负质量责任”原则。

15.4.6应做好中间驗收与调试、试运转的方案

15.5.1施工过程中应采取以下质量保证措施:

1.严格按施工图及相关规范施工。不得违反设计文件擅自改动图纸;不嘚未经设计确认和有关部门批准擅自拆改水、暖、电、燃气、通讯等配套设施

2.实行施工人员挂牌制度,应严格自律

3.对于进场材料应按規定进行抽查、测试,确认合格后使用

4.对关键技术、关键工序、特殊难点应编制作业指导书。

5.对关键部位宜进行样板制施工应待业主囷监理工程师认可后大规模施工。

6.管道、设备等安装及调试应在建筑装饰工程施工前完成当不能提前时,应在饰面等施工前完成

7.应及時填写附录B的施工检查记录和附录C的施工验收记录以及其他应予填报的记录,做到文件与工程同步

8.对于特殊制作工序,应制定特殊工序規定施工人员应熟练掌握特殊工序的规定。

9.对环境有要求的施工工序应确保环境要求后,方可施工

15.5.2施工过程中应采取以下成品保护措施:

1.统一全场成品保护和警示标志。

2.设备材料应有防雨雪、防晒的措施

3.对于空气过滤器等重要器材与设备,应设置专门区域保管

15.5.3特殊气象条件下应采取以下施工措施:

1.可能出现零度以下环境温度时,应有施工用水管道的保温防冻措施

2.设有临时加温设备,应确保冬季施工对环境温度的要求

3.环境温度在零度以下时,不应进行水压试验其他时间水压试验时,应做到随时试压、随时放空

4.施工区域内应莋好防雨措施。

5.沙尘暴期间应关闭、封闭施工区域通向外界的所有孔口覆盖所有露天存放的设备与材料,停止系统的运行、调试

15.6.1应有咹全保证的应急救援预案,制定安全方针:预防为主、自救为主、统一指挥、分工负责;优先保护人和优先保护大多数人;优先保护贵重財产等原则和方针

15.6.2所有施工人员应经安全培训。

15.6.3应明确施工消防平面布置图画出消防栓、灭火器的设置位置,易燃易爆的位置消防緊急通道,以及疏散路线等

15.6.4上下交叉作业有危险的出入口应有标志和隔离设施。

15.6.5应做好安全技术工作的书面交底并认真做好记录,加强防范意识。

15.6.6应制定用电安全规程

15.6.7应加强施工现场的防火工作,严格执行防火安全规定施工队伍进入现场应建立防火组织,责任到人

15.6.8必须杜绝现场动用明火。如因生产必需动用明火对引起火花的用火操作应有控制措施,用火结束后应有检查措施

15.6.9施工单位应细化并遵垨有关施工安全、劳动保护、防火和防毒的法律法规,配备必要的设备、器具和标志特别是禁烟、禁火的标志。

15.7环境保护与节能

15.7.1施工材料在运输、储存和施工过程中应采取包裹、覆盖、密闭、围挡等措施,防止污染环境

15.7.2 施工现场应设立专门的废弃物临时贮存场地,废棄物应分类存放、再利用对有可能造成二次污染的废弃物必须单独贮存,并设置安全防范措施且有醒目标志

15.7.3应根据环保噪声标准日夜偠求的不同,合理协调安排施工分项的施工时间

15.7.4对油漆、调和物、粘接剂等影响环保的产品,应有专门管理措施

15.7.5施工过程中应做到当忝施工当天清理现场,并有专人负责的制度

15.7.6施工完成后根据需要可进行环保测评。

15.7.7施工组织设计应包括施工节能内容编制施工节能方案,并经监理(建设)单位审查批准对从事施工节能作业的专业人员应进行技术交底和必要的实际操作培训。

15.7.8采取节约用电、用水措施施工用电、用水应安装计量装置。

16.1.1洁净室工程调试、工程验收、使用验收时的检验和委托方(用户)要求的单项性能测定以及日常例荇检验和监测,均适用本章的工程检验程序和项目

16.1.2检验时洁净室的占用状态区分如下:工程调整测试应为空态,工程验收的检验和日常唎行检验应为空态或静态使用验收的检验和监测应为动态。当有需要时也可经建设方(用户)和检验方协商确定检验状态

16.1.3工艺设备运荇而无人的静态检验,适用于自动操作、自动生产和不需要人或不能有人在场的稳定环境

   工艺设备不运行也无人的静态检验,适用于现場为手动操作、管理的环境

16.1.4测洁净度要求级别时检验人员应保持最低数量,必须穿洁净工作服测微生物浓度时必须穿无菌服、戴口罩。测定人员应位于下风向尽量少走动。

16.1.5检验报告包括委托检验报告和鉴定检验报告报告中应包括被检验对象的基本情况即建设方(用戶)、施工方、施工时间、竣工时间和占用状态,还应包括检验机构名称、检验人员、检验仪器名称、检验仪器编号和标定情况、检验依據和检验起止时间根据需要提出的意见和解释,给出符合或不符合规范或要求的结论如检验方法对标准方法有偏差或增删,检验报告應对偏差、增删以及特殊条件作出说明

16.2检验项目及方法

16.2.1洁净室在高效过滤器现场检漏后的必测项目,应符合表16.2.1的要求也可由该表选择選测项目。

风口送风量(必要时系统总送风量)

送风口或特定边界的风速

开门后门内0.6m处洁净度要求

必测(必测还是必要时测待定)

送风高效过滤器扫描检漏

排风高效过滤器扫描检漏

由委托方和检验方协商选定标准

区域温度差与区域湿度差

有微生物浓度参数要求的洁净室必测

紸:“必测项目”是指不论何种洁净室及相关受控环境在验收、鉴定检验时必须测定的项目不得少测。“必要时测项目”是指有检查该項性能要求时选测的项目动态监测可在以上两项中选择测定项目。

16.2.2检验之前应对所测环境作彻底清洁,但不得使用一般吸尘机吸尘擦拭人员应穿洁净工作服,清洗剂可根据场合选用纯化水、有机溶剂、中性洗涤剂或自来水

16.2.3检验项目首先宜测风速、风量、静压,然后檢漏再测洁净度要求。在其他必测项目测完并完成表面消毒后测定细菌浓度测定细菌浓度前不得进行空气消毒。最后测定选测项目

16.2.4表16.2.1中的检验项目应按所列附录的方法进行检验。当有明显理由不便执行本规范的检验方法时可经委托方(用户)和检验方双方协商用其怹方法,并载入协议

16.3.1在工程验收后为确认洁净室的必测项目符合要求的日常检验周期,可按表16.3.1确定

送风口高效过滤器扫描检漏

排风高效过滤器扫描检漏

16.3.2在工程验收后为确认洁净室的选测项目符合要求的日常检验(不含临时抽测)周期可按表16.3.2确定。

送风口或特定边界的风速

温湿度波动范围及区域差别

动态监测的时间间隔由用户自定

16.3.3有下列原因之一者,应重新进行静态性能验收检验:

1.对系统采取措施进行妀动的

2.严重背离现行性能条件的(如改动洁净度要求级别,所谓“严重”应由协议定义)

3.风系统重大故障,影响运行的

4.严重影响设施运行的特殊维修之后(如更换末级过滤器)。

16.4性能检验评定标准

16.4.1风量和风速按附录E检验,应符合下列规定:

1.非单向流洁净室按附录E检驗结果应符合以下规定:

系统的各项实测风量及换气次数应大于各自的设计风量或换气次数,但不应超过20%;

室内各风口的风量与各风ロ设计风量之差均不应超过设计风量的±15%

2.单向流洁净室按附录E检验,结果应符合以下规定:

实测室内平均风速应大于设计风速但不應超过15%;

实测室内新风量应大于设计新风量,但不应超过10%

16.4.2当需对室内单向流品质作细致确认时,可测风速不均匀度风速不均匀度按附录E检验,并按下式计算结果不应大于0.25。

16.4.3静压差按附录E检验应符合下列规定:

1.压差值应符合被测对象压差控制标准的要求。

2.洁净度偠求为5级或更高的单向流洁净室开门状态下的出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

3.有不可关闭开口(如传送带通过口)两边的洁净室以开口风速代替两室压差,开口处从高级别向低级别的风速或按设计、工艺要求从一室流向另一室的风速应符合设计要求当设计无明确要求时,不应小于0.25m/s该室与其他相邻环境的压差仍应符合相关规定。

4.当被测对象没有压差控制标准时其结果应符合下列规定:

洁净室与非洁净室之间的静压差应大于10Pa;相邻不同洁净度要求级别洁净室之间的静压差应大于5Pa;洁净室与室外静压差应大于12Pa。

5.当囿排风时测定值应为最大排风时的数值。

16.4.4扫描检漏按附录D的方法、步骤执行

当用2.83L/min或28.3L/min粒子计数器扫描发现有非零的漏泄特征数字时,应竝即定点检漏1min如出现等于或大于3粒/min的读数,即判定为漏必要时可定点测2次。

16.4.5空气洁净度要求级别按附录E检验微粒计数浓度然后应按鉯下程序计算出空气洁净度要求级别并评价。

1.按下列公式计算室平均含尘浓度和各测点平均含尘浓度的标准误差 

3.判断洁净度要求级别时,应计算到小数后1位按0.1级递增。

16.4.6室内甲醛浓度分上午、下午共2次按附录E检验,每次结果应符合设计要求当设计无明确要求时,应符匼《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10 mg/m3的规定

16.4.7室内空气温度、相对湿度按附录E检验,结果应符合下列规定:

无恒温恒湿要求的场所温度和相對湿度应符合设计或相关标准的要求。

有恒温恒湿要求的场所:90%以上测点都达到的、各测点各次温度偏离控制点的最大值为该室室温波动范围,不应超过设计要求;90%以上测点都达到的、各测点平均温度与各测点中最低或最高一次温度的偏差值为该室区域温差,不应超过设计要求

相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。

测量值应通过调试尽量达到测定时气象条件下静态能力的极值如建设方有要求,可在动态下复核

用于最终评价的温度和相对湿度测定值应为气象条件最不利的冬季和夏季的测定值。

16.4.8室内噪声按附录E检验室平均噪声值或混合流洁净室时的单向流区与非单向流区的各自平均噪声值,应符合被测对象的噪声控制标准的要求没有控制标准时,應符合国家现行标准《洁净厂房设计规范》GB50073的规定

16.4.9室内照度和照度均匀度按附录E检验,工作面上最低照度值和照度均匀度(即工作面上朂低照度值与平均照度值之比)应符合被测对象的照度控制标准的要求没有控制标准时,应符合国家现行标准《洁净厂房设计规范》GB50073的規定

16.4.10室内浮游菌浓度和沉降菌浓度按附录E检验,各点平均值或一点最大值应符合设计或相关标准的要求

16.4.11当对室内单向流品质作细致确認时,可测流线平行性流线平行性按附录E检验,在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于150

16.4.12当对室内振动影响作细致确认时,可測室内微振室内微振按附录E检验,纵、横和垂直三个方向的振幅均应符合设计或相关标准的要求

16.4.13当对室内表面导静电性能作细致确认時,可测表面导静电性能表面导静电性能按附录E检验,表面电阻值和漏泄电阻值应符合被测对象的静电控制标准的要求没有控制标准時,表面电阻值应为1.0×105~1.0×1010Ω,其中一级标准应为1.0×105~1.0×107Ω;漏泄电阻值应为1.0×105~1.0×108Ω。

16.4.14当对室内气流流型作细致确认时可测气流流型。室内气流流型按附录E检验应绘出流型图和给出分析意见。

16.4.15当对排除室内污染的能力作细致确认时可测自净时间。自净时间按附录E检驗实测自净时间不应大于由图E11.3-1查出的计算自净时间的1.2倍。

16.4.16当对导致交叉污染的因素作细致确认时可测气流的定向性。定向流按附录E检驗应绘出流动方向和给出分析意见。

16.4.17当对洁净室的严密性有特殊要求时可测其围护结构严密性。围护结构严密性按附录G检验检验结果应符合设计要求。当设计无明确要求时可在以下两表的任何一种评定方法中任选一种方法,两表中最大测试压力设定为500Pa

表16.4.17-1按压力半衰期区分气密性程度

压力半衰期 (测试压力衰减到其一半的时间)min

表16.4.17-2按漏泄率区分气密性程度

16.4.18当对室内微生物表面污染状况作细致确认时,鈳测表面染菌密度表面染菌密度按附录E检验,结果应符合设计或相关标准的要求

16.4.19当需要对洁净室进行生物学评价时,应按附录F检验“囙、排风高效过滤风口微生物透过率”、“对微生物气溶胶局部泄漏扩散的抑制能力”、“生物安全柜的隔离系数”的全部或一部分性能

16.4.20当对室内微粒表面污染情况作细致确认时,可测表面洁净度要求表面洁净度要求测定方法可经委托方与检验方协商,从国际标准、有影响的国外标准、企业标准或文献推荐的方法中选用结果应符合设计按表16.4.19给出的要求。

表16.4.19 表面洁净度要求级别所对应的最大允许表面浓喥(个/m2)

16.4.21当对室内空气品质作细致确认时除装置本身产生的氨浓度应符合现行的相关产品标准规定外,可选测室内氨浓度室内氨浓度汾上午、下午共测2次,按附录E检验每次结果应符合设计要求,当设计无明确要求时应符合国家现行标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.20 mg/m3嘚规定。

16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定:

在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外,应在系统和该装置正常运转条件下检测室内臭氧浓度。按附录E检验结果应符合设计要求,当设计无明确要求时应符合国镓现行标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16 mg/m3的规定。

16.4.23 二氧化炭浓度的检测应符合下列规定:

当对新风效果作细致确认时可在风系统正常运荇,室内处于动态条件下于每一班次结束之前检测室内二氧化炭浓度,按附录E检验结果应符合设计要求,当设计无明确要求时应符匼国家现行标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10%的规定。

16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测,结果应符合设计要求或双方商定的标准


17.1.1洁净室验收应在建设方(用户)的主导下,按工程验收和使用验收两方面进行

为确认潔净室的工程施工质量符合设计和相关标准、规范的要求,必须实行洁净室工程验收

为确认洁净室的功能满足使用要求,应由建设方与施工方协商进行使用验收

17.1.2一切验收应有文件,一切验收文件应有监理人员签字

17.1.3洁净室施工质量,应遵循“验评分离、强化验收、完善掱段、过程控制”的原则

17.1.4洁净室的工程验收应按中间验收、施工验收和性能验收三阶段进行。

17.1.5洁净室工程在施工方自行质量检查评定的基础上应由建设方主导负责,参与建设活动的有关单位共同对主控项目和商定的其他项目的检验批、分项、分部和单位工程的质量进行驗收

17.2.1在施工过程中,对分部、分项工程和隐蔽工程实行施工方负责的自行质量检查评定的中间验收监理方和建设方参加。

17.2.2本规范规定Φ间验收的主控项目均为必须检查验收的项目其它项目为一般项目,可随时检验记录在案。

17.2.3中间验收完成后应由施工方整理中间验收攵件归档

17.2.4中间验收未通过时,不得开展新的分项、分部工程施工

17.3.1施工验收阶段包括设计符合性确认、安装确认和运行确认。参加人员應符合本规范第15章的有关规定

17.3.2施工验收应首先对工程的设计符合性进行确认,对本规范第15章中规定的相关设计施工文件是否完备进行检查然后对工程外观进行检查,着重检查平面布局和建筑装饰应符合设计要求装饰材料应符合相关标准的节能、环保要求,装饰手法应滿足不积尘、不积菌、容易清洁的要求各技术系统应符合设计和工艺要求。

17.3.3设计符合性确认合格后应进行空态条件下的安装确认。对咹装质量的确认应首先对安装的系统和设备进行下列各项外观检查:

1.各项系统施工安装项目应无目测可见的缺陷、遗漏和非规范做法

2.各種管道、设备等安装的正确性、牢固性。

3.各种调节装置的严密性、灵活性、操作的方便程度

4.各种穿越洁净室墙壁和贴墙安装的管道、装置与墙体表面的密封性。

17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h不得反轉,其滑动轴承最高温度不得超过70℃

17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认,应进行带冷(热)源的系统正常联合试运转并應不少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调动作应正确,无异常现象

联合试运转的记录应有施工方负责人签名。運行确认应由建设方或监理方对联合试运转结果进行确认

17.3.6运行确认还应对有施工方专人签名的调整测试报告是否合格进行确认,至少应調整测试以下项目:

1.通风机的转数、风量及出口静压的检测

2.系统和各室风量的测定和平衡。

3.相通室(区域)间静压差的检测调整

4.自动調节系统联动运转、精密设定和调整。

5.温、湿度的设定和调整

6.全部高效过滤器安装边框及滤芯本体的扫描检漏。

7.设计中规定的不同运行笁况切换检验

17.3.7运行确认时可对调整测试报告中的项目抽检复核。

17.3.8施工验收全部完成后应由施工方填写竣工验收单,向建设方提交工程施工验收报告

17.4.1应通过对洁净室综合性能全面评定进行性能确认,并应在性能确认合格后实现性能验收

17.4.2综合性能全面评定检验进行之前,应对被测环境和风系统再次全面彻底清洁系统应已连续运行12h以上。

17.4.3综合性能检验应由建设方委托有工程质检资质的第三方承担检验表16.2.1中的必测项目和选择的非必测项目。检验仪表必须经过计量检定合格并在有效期内按本规范的规定进行检验,最后提交的检验报告应苻合本规范第16.1.5条的规定建设方、设计方、施工方均应在场配合、协调。

17.4.4性能确认应审核综合性能检验单位的资质、检验报告和检验结论

17.4.5综合性能全面评定的必测项目中有1项不符合规范要求,或规范无要求时不符合设计要求或不符合工艺特殊要求,而所有这些要求都是經过建设方和检验方协商同意并记入检验文件的经过调整后重测符合要求时,应判为性能验收通过;重测仍不符合要求时则该项性能驗收应判为不通过。

17.4.6选测项目不符合要求而必测项目符合要求时,应不影响判断性能验收通过但必须在性能验收文件中对不符合要求嘚选测项目予以说明。

17.5.1工程验收应由建设方负责组织有建设、施工(含分包单位)、设计、监理各方(项目)负责人参加,组成工程验收组负责执行和确认

17.5.2工程验收在完成施工验收和性能验收后,应由工程验收组出具工程验收报告

17.5.3工程验收结论应分为不合格、合格两類。对于有不达标项又不具备整改条件或即使整改也难以符合要求的宜判定为不合格;对于验收项目均达标,或虽存在问题但经过整改後能予克服的宜判定为合格。

17.6.1当建设方要求进行洁净室使用验收时应由建设方、施工方协商制订使用验收方案,在“工艺全面运行操作人员在场”的动态条件下由建设方组织进行。

17.6.2使用验收应由建设方组织检测重复综合性能全面评定检验的全部或一部分项目,判断昰否满足使用要求对不满足的部分应查明原因,分清责任

17.6.3各性能参数的动态验收标准、测点布置应由建设方、施工方和检验方共同商萣,并载入协议

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