方法可用于模拟计算扫描电子显微学中材料的什么是表面形貌衬度像衬度,通过模拟电子在试样内部和表面附近的散射和输运过程,从而得到二次电子和背散射电子的信号,它們既反映了试样的什么是表面形貌衬度特征,在一定程度上还表征了试样的内部成分和结构差异根据此算法,计算跟踪每个入射电子和被激發的二次电子的轨迹,利用 Monte Carlo 步骤对每次散射时的散射角、方位角、能量损
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姜德龙;房立峰;那延祥;李野;田景全;;[J];发光學报;2011年08期
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