中国是否掌握了单晶硅片的制造方法

单晶硅片的抛光方法、太阳能电池片及其制作方法
本发明公开了一种单晶硅片的抛光方法、太阳能电池片及其制作方法。该抛光方法为将制绒后的单晶硅片的用于制作背场的背面置于抛光液中、正面置于抛光液外进行化学抛光。通过对背面绒面结构抛光增加了硅片电池背场的平整度,增加了太阳光谱中长波段光在单晶硅背面的反射;减小了硅片背面的绒面面积和硅片背面的表面缺陷态密度以及背面光生载流子的复合速率,使经过硅片的光更多地反射回硅片内部,增加了激发电子-空穴对的几率,提高了太阳能电池的开路电压、短路电流和光电转换效率,降低了制作成本。通过调整优化抛光工艺提高了长波段太阳光的反射率,使长波长的光进一步反射回硅片内部增加了被吸收的可能性,提高了太阳能电池的转换效率。
专利类型:
申请(专利)号:
申请日期:
公开(公告)日:
公开(公告)号:
主分类号:
C30B33/10,C30B33/00,C,C30,C30B,C30B33
C30B33/10,C30B33/00,H01L31/18,H01L31/00,C,H,C30,H01,C30B,H01L,C30B33,H01L31,C30B33/10,C30B33/00,H01L31/18,H01L31/00
申请(专利权)人:
英利能源(中国)有限公司
发明(设计)人:
闫英丽,汤欢,范志东,马继奎
主申请人地址:
071051 河北省保定市朝阳北大街3399号
专利代理机构:
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
吴贵明,张永明
国别省市代码:
一种单晶硅片的抛光方法,其特征在于,将制绒后的所述单晶硅片的用于制作背场的背面置于抛光液中、正面置于所述抛光液外进行化学抛光。
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中国单晶硅片行业研究与产业前景预测报告
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年中国单晶硅行业市场调研与项目投资前景分析报告
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报告导读:本报告从国际单晶硅发展、国内单晶硅政策环境及发展、研发动态、进出口情况、重点生产企业、存在的问题及对策等多方面多角度阐述了单晶硅市场的发展,并在此基础上对单晶硅的发展前景做出了科学的预测,最后对单晶硅投资潜力进行了分析。
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青海省“123”科技支撑工程项目——太阳能级单晶硅及晶片产业化和500吨/年多晶硅铸锭产业化工程两个项目日前分别攻克适应高原气候的生产方法和多晶硅切割工...资源总有枯竭的一天,寻找和发展新能源,已成为国际社会的共识。鄂尔多斯就蹲在这个十字路口,煤炭、天然气……鄂尔多斯人早已不稀罕,这次,他们瞄准的是世...AdvancedSolarPhotonics(ASP)公司,一个为光伏产业开发的激光划线,雕刻,制绒和切边系统的制造商,在先前宣布的佛罗里达州玛丽湖程的SolarFabT项目基础上...
第一章&单晶硅基本概况第一节 单晶硅的基本概况第二节 单晶硅基本理化性质第三节 单晶硅的包装、贮存及运输等
第二章 年中国单晶硅生产工艺及发展趋势第一节 单晶硅生长方法一、直拉单晶制造法(CZ法)二、区熔单晶制造法(FZ法)第二节 晶片加工方法分析一、晶片加工方法二、晶片加工技术第三节 单晶硅抛光硅片生产工艺一、单晶硅抛光硅片生产工艺二、单晶硅规格三、制备工艺中的损耗原因分析第四节 2007年单晶硅工艺技术进展及发展趋势一、国内外单晶硅工艺技术进展及发展趋势二、大直径硅片的制造技术
第三章 全球单晶硅市场发展态势分析第一节 世界单晶硅行业发展分析一、行业整体现状二、基本特点第二节 全球单晶硅市场结构研究一、市场规模二、产品市场结构三、品牌市场结构四、区域市场结构五、渠道市场结构第三节 主要国家和地区发展情况一、美国二、亚洲太平洋地区三、中东地区四、加拿大五、欧洲六、澳大利亚第四节 世界单晶硅材料发展趋势分析一、单晶硅产品向300mm过渡,大直径化趋势明显二、硅材料工业发展日趋国际化,集团化,生产高度集中三、硅基材料成为硅材料工业发展的重要方向四、硅片制造技术进一步升级
第四章 2007年中国单晶硅行业生产现状分析&第一节 我国单晶硅生产现状一、单晶硅概况二、我国单晶硅生产现状三、生产规模与规模相关性分析第二节 国内单晶硅生产主要区域分析&一、&河北二、&辽宁三、上海第三节 用单晶硅生产基地情况一、东北太阳能电池用单晶硅生产基地二、河北宁晋地区太阳能级单晶硅生产基地
第五章 年中国单晶硅市场供需监测分析第一节 国内外单晶硅消费概况与消费结构一、国际单晶硅消费概况与消费结构二、国内单晶硅消费概况与消费结构第二节 单晶硅市场特征分析一、产品特征二、价格特征三、渠道特征四、购买特征第三节& 我国单晶硅市场需求分析一、全国市场容量二、国际市场容量三、产品需求四、价格需求五、渠道需求第四节 我国单晶硅市场供给分析一、价格供给二、渠道供给三、促销供给第五节 我国单晶硅市场价格走势
第六章&2007年中国单晶硅行业情况第一节 2007年我国单晶硅行业进口分析预测&第二节 2007年我国单晶硅行业出口分析预测第三节 2007年我国单晶硅进出口价格走势
第七章 单晶硅重点生产企业经营分析第一节 中环股份一、公司基本概况二、经营业务情况三、单晶硅成为公司新的利润支柱四、公司发展战略第二节 河北晶龙集团有限公司一、集团基本简介二、公司经营状况三、公司项目第三节 有研材料股份有限公司一、公司基本概况二、经营业务情况三、公司发展规划第四节 洛阳单晶硅厂(洛阳单晶硅有限责任公司)一、公司基本概况二、经营业务情况第五节 晶华有限公司一、公司基本概况二、经营业务情况
第八章 单晶硅分析研究&第一节 芯片产业分析&一、技术发展二、三、相关产业四、芯片生产应用的金属材料及化学原料第二节 产业链一、生产设备名细及性能二、生产设备发展趋势第三节 产业链发展环保问题第四节 落户大连对大连产业影响分析一、我国集成电路产业发展现状二、大连集成电路产业现状三、英特尔大连建厂对大连集成电路产业的影响
第九章 年中国单晶硅行业市场前景预测第一节 影响我国单晶硅发展因素分析一、政策因素二、市场因素三、技术因素四、资金因素第二节 年中国单晶硅市场趋势预测一、产品发展趋势二、价格变化趋势三、渠道发展趋势第三节 年中国单晶硅市场规模发展预测一、产品结构预测二、产品规模预测第四节 年中国单晶硅市场供需形势预测一、供给情况预测二、需求情况预测第五节 单晶硅市场价格走势预测一、单晶硅市场价格走势二、影响单晶硅市场价格因素分析第六节 年单晶硅的应用领域趋势分析
第十章 单晶硅拟建与在建设项目第一节 单晶硅项目投资概况第二节 单晶硅拟建项目投资情况第三节 单晶硅在建项目市场调查一、江西信丰县工业园单晶硅生产项目二、西宁经济技术开发区单晶硅项目三、赤壁金山硅业有限责任公司单晶硅项目四、黔江区与重庆神农生物工程公司单晶硅项目五、投资2000万元的龙翔单晶硅项目六、呼市12亿元单晶硅芯片材料项目七、开化投资18亿元的硅单晶项目&
第十一章 年中国单晶硅行业发展预测第一节 中国单晶硅行业发展现状第二节 中国单晶硅行业发展趋势第三节 中国单晶硅行业存在问题与对策&第十二章 中国单晶硅企业面临机遇与挑战第一节 国内单晶硅厂商经营面临的困难&第二节 国内单晶硅的机遇和挑战第三节 国内外硅材料的发展战略
第十三章 年中国单晶硅产业投资前景分析第一节 单晶硅行业投资机会分析一、单晶硅材料市场依然巨大二、太阳能电池用单晶硅材料需求第二节 单晶硅行业投资风险预警第三节 单晶硅行业投资前景分析第四节 单晶硅行业投资潜力一、周期性分析二、成长性分析三、盈利性分析
第十四章& 虚拟项目可行性分析研究第一节 虚拟项目概况第二节 市场基本情况&一、国外单晶硅生产能力二、国内单晶硅生产情况第三节 单晶硅市场现状与预测&一、单晶硅市场供需状况二、单晶硅市场发展前景第四节 关键技术及产品质量前景第五节 生产原料及能源供应第六节 项目经济效益分析&一、项目投资来源二、经济效益分析第七节 项目可行性分析
图表目录图表 1& 直拉单晶制造示意法图表 2& 硅晶片生产工艺总流程图图表 3& 边皮料、埚底料清洗工艺流程图图表 4& 拉晶工艺流程图图表 5& 晶片加工工艺流程图图表 6& 单晶硅抛光片工艺流程及产污节点图图表 7& RCA清洗工艺流程及产污节点图图表 8& 硅外延片制作流程图图表 9& 芯片制作流程图表 10& 单晶硅抛光片物理性能参数图表 11& 单晶硅抛光片规格图表 12& 单晶硅整形过程中的各种损耗图表 13& 单晶硅抛光片损耗情况图表 14& 其他工序损耗数据图表 15& 各种尺寸硅片的消耗量变化 (用量单位:百万片,面积单位:百万平方英寸)图表 16& 全球半导体市场规模及增长率图表 17& 2002年全球半导体消费地区分布情况图表 18& 2005年全球半导体消费地区分布情况图表 19& 日本国内新建半导体前部生产厂计划图表 20& 硅片直径、厚度以及芯片厚度的变化趋势图图表 21& 硅产业年度趋势图表 22& 硅片销售面积季度趋势& 单位:百万平方英寸图表 23& 硅周期图表 24& 年度硅材料销售趋势图表 25& 硅圆片尺寸的寿命周期图表 26& 所有生产设备中,300毫米硅片设备所占比例图表 27& 年全球单晶硅产销量图表 28& 2006年前四名厂商硅单晶体片市场份额情况& 单位:亿美元图表 29& 2006年全球半导体市场的区域构成&图表 30& 硅产品产业链图&图表 31& 各种尺寸硅片的消耗量变化图表 32& 2002年全球前10大硅片生产商市场份额排名生产商市场份额图表 33& 2002年全球前10大硅片生产商市场份额排名生产商市场份额图表 34& 年TOP4厂商硅单晶体片市场份额情况& 单位:亿美元图表 35& 年TOP4厂商硅单晶体片所占市场份额趋势图图表 36& 我国单晶硅供给状况(单位:吨/年)图表 37& 国内主要IC芯片生产企业及月投片量图表 38& 国内主要晶体硅硅片厂家产能统计(MWp)图表 39& 年我国单晶硅产量增长趋势图& 单位:吨图表 40& 晶龙集团2006年主要财务指标& 单位:万元图表 41& 晶龙集团2005年与2006年工业总产值、销售收入对比图表 42& 国内主要单晶硅生产企业产品范围情况表图表 43& 2006年国内主要单晶硅棒生产企业统计表图表 44& 年我国单晶硅主要消费结构图表 45& 硅片2006年12月价格图表 46& 国内多晶硅2000年与2006年价格对比图表 47& 年5月太阳能电池用多晶硅价格走势图图表 48& 我国单晶硅需求状况& 单位:吨/年图表 49& 年中国IC市场规模及增长图表 50& 年中国单晶硅棒市场需求情况图表 51& 年中国抛光硅片市场需求情况图表 52& 中国主要的半导体单晶硅材料生产企业图表 53& 全球不同尺寸硅片消耗量的变化图表 54& 我国多晶硅和单晶硅供需状况对照表(单位:吨/年)图表 55& 年全球太阳能电池产量统计与预测图表 56& 年多晶硅产量趋势图图表 57& 国际单晶硅年价格走势图& 单位:美元/公斤图表 58& 国内高纯度单晶硅2004年6月与2006年的价格对比图图表 59& 2006年1月-2007年6月单晶硅棒进出口情况图表 60& 年硅≥99.9%,直径≥7.5cm单晶硅棒进出口数量比较图表 61& 年硅≤99.9%,直径&7.5cm单晶硅棒进出口数量比较图表 62& 年硅≤99.9%,直径&7.5cm单晶硅棒进出口金额比较图表 63& 月单晶硅棒、片进出口情况图表 64& 月我国硅≥99.9%,直径≥7.5cm单晶硅棒进出口走势图图表 65& 月我国硅≤99.9%,直径&7.5cm单晶硅棒进出口走势图图表 66& 月7.5cm≤直径≤15.24cm单晶硅片进出口走势图图表 67& 月直径&15.24cm单晶硅切片进出口走势图&图表 68& 我国单晶硅消费比率图表 69& 我国2006年单晶硅棒、高纯硅、工业硅进口情况图表 70& 月单晶硅棒进口情况&& 单位:吨,万美元图表 71& 月单晶硅片进口情况&& 单位:吨,万美元图表 72& 年我国单晶硅增长情况图表 73& 年我国单晶硅出口量走势图图表 74& 我国2006年单晶硅棒、高纯硅、工业硅出口情况图表 75& 月单晶硅棒出口情况&&& 单位:吨,万美元图表 76& 月单晶硅片出口情况& 单位:吨,万美元&图表 77& 年上半年我国单晶硅进出口价格情况图表 78&& 年上半年单晶硅进出口单价走势图图表 79& 2006年中环股份地区销售比重图图表 80& 2006年中环股份分地区经营收入数据分析& 单位:万元图表 81& 2006年中环股份各类产品年销售数据分析& 单位:万元图表 82& 2006年中环股份各类产品收入比重分析图表 83& 2006年中环股份各类产品业务成本比重分析图表 84& 2006年中环股份各类产品毛利率对比图图表 85& 2006年份河北晶龙集团资产运行数据分析 单位:千元图表 86& 2006年份河北晶龙集团主要经济运行指标& 单位:千元图表 87& 2006年份河北晶龙集团销售成本数据分析& 单位:千元图表 88& 年公司主要经济指标运行情况& 单位:万元图表 89& 公司近几年的总资产及主营业务收入变化趋势图图表 90& 年公司净利润变化情况&图表 91& 年公司总利润变化趋势图图表 92& 2006年份洛阳单晶硅有限责任公司资产数据分析图表 93& 2006年份洛阳单晶硅有限责任公司主要运行指标图表 94& 2006年份洛阳单晶硅有限责任公司经营成本分析图表 95& 2006年份晶华电子材料有限公司资产数据分析&图表 96& 2006年份晶华电子材料有限公司利润负债数据分析&图表 97& 2006年份晶华电子材料有限公司成本分析&图表 98& 年全球多晶硅产量需求对比情况图表 99& 上世纪80年代至2006年我国太阳能电池产能趋势图表 100& 年多晶硅电池产量预测 单位:mw图表 101& 全球半导体市场规模及增长率图表 102& 单晶硅加工项目主要生产设备一览表图表 103&& 年国内晶体硅原料产能与产量预计图表 104& 年十年单晶硅需求增长走势图图表 105& 太阳能电池硅材料使用状况(克/Wp)图表 106& 主要太阳能电池成本-性能评价表&图表 107& 年多晶硅价格变化情况图表 108& 生产各环节消耗统计(KWh/Kg)图表 109& 近几年我国单晶硅拟建和在建项目统计图表 110& 近几年我国单晶硅招商项目统计图表 111& 年公司净利润变化情况图表 112& 我国年多晶硅的产量& 单位:吨&图表 113& 我国2006年多晶硅产需对比& 单位:吨图表 114& 我国发电量趋势图图表 115& 年我国电子元件市场规模数据分析& 单位:亿美元图表 116& 年全球太阳能电池产量预测& 单位:MW,%&图表 117& 国内企业生产各环节毛利率分析图表 118& 年全球单晶硅产销量图表 119& 年单晶硅产需走势图& 单位:吨&图表 120& 单晶硅棒---单晶硅抛光片相关指标图表 121& 单晶硅棒的主要技术参数图表 122& 单晶硅抛光片的物理性能参数同硅单晶技术参数图表 123& 年国际对硅片关键参数的要求图表 124& 我国硅质原料分布情况图表 125& 我国分布情况图表 126& 硅质原料矿区数及储量情况图表 127& 略。。。
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报告标题:单晶硅调研报告:年中国单晶硅行业市场调研与项目投资前景分析报告
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